據(jù)Semiconductro International網(wǎng)站報(bào)道,在美國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SIA)的“摩爾定律的未來(lái)”圓桌討論會(huì)上,Intel技術(shù)戰(zhàn)略主管Paolo Gargini博士談及業(yè)界是否應(yīng)該進(jìn)入450mm晶圓世代時(shí)表示:“從技術(shù)角度來(lái)看,這并不是十分困難!
“我們已經(jīng)經(jīng)歷了好幾次這樣的轉(zhuǎn)變,看看目前的情況,90%的工藝步驟是每次只能執(zhí)行單塊晶圓,所以當(dāng)你要擴(kuò)散100片晶圓的時(shí)候就會(huì)遇到困難!盙argini說(shuō)道。
“目前的狀況每8年、9年或者10年都會(huì)經(jīng)歷一次,這會(huì)導(dǎo)致分歧,因?yàn)槊總(gè)人都會(huì)習(xí)慣于兩年對(duì)設(shè)備進(jìn)行一下改進(jìn)。所以,這相當(dāng)于打斷了這種進(jìn)程,而且你不能只通過(guò)一個(gè)供應(yīng)商來(lái)完成——必須整個(gè)產(chǎn)業(yè)來(lái)一起支持。這樣,事情變得更加復(fù)雜。事實(shí)上,需要4到5年來(lái)討論和爭(zhēng)執(zhí)。我們來(lái)回想一下300mm晶圓,1993年開始討論,1996年開始組織計(jì)劃,1998年完成原型產(chǎn)品,2001年投產(chǎn)。這么看來(lái),我們已經(jīng)花費(fèi)了一些時(shí)間——2年到3年的爭(zhēng)執(zhí)。情況也十分相同:供應(yīng)商不愿意去做,我們告訴他從長(zhǎng)遠(yuǎn)看這對(duì)你有好處!盙argini說(shuō)道。
“我認(rèn)為300mm和450mm晶圓的兼容性比想象的要高,所以半導(dǎo)體設(shè)備商可能高估了450mm的開發(fā)成本!盙argini表示。
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