MEMS和微結(jié)構(gòu)兩大產(chǎn)業(yè)的行業(yè)協(xié)會(huì)“微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟”(MIG)日前公布了一年一度的產(chǎn)業(yè)報(bào)告，該報(bào)告論述了MEMS產(chǎn)業(yè)內(nèi)高速增長(zhǎng)的細(xì)分市場(chǎng)。以MEMS集成為焦點(diǎn)的《MIG產(chǎn)業(yè)報(bào)告》預(yù)測(cè)今年將是MEMS大舉進(jìn)攻消費(fèi)電子市場(chǎng)的一年，主要目標(biāo)應(yīng)用領(lǐng)域包括用於遙控游戲控制臺(tái)的基於加速計(jì)的運(yùn)動(dòng)感測(cè)器、在手機(jī)和數(shù)碼相機(jī)內(nèi)集成的用於穩(wěn)定圖像的雙軸陀螺儀、聲學(xué)模組內(nèi)的矽話筒、實(shí)現(xiàn)多種定時(shí)應(yīng)用（如替代手表晶振）的矽諧振器。
    MEMS器件是一種整合了智慧感測(cè)器和半導(dǎo)體電路的微型機(jī)器，有利於提高多種電子系統(tǒng)的功能性、成本效益和靈活性。過(guò)去，在每顆晶圓上只能生產(chǎn)幾百個(gè)MEMS，而現(xiàn)在能夠制造幾千支MEMS，目前MEMS的銷(xiāo)售量已達(dá)到數(shù)百萬(wàn)支。行業(yè)調(diào)查公司Yole Développement預(yù)測(cè)MEMS市場(chǎng)規(guī)模在今後六年內(nèi)將會(huì)增加一倍，從現(xiàn)在的50億美元提高到近100億美元。 據(jù)MIG的研究報(bào)告，推動(dòng)MEMS市場(chǎng)的成功因素是可制造性的提高、技術(shù)進(jìn)步使在一顆晶片實(shí)現(xiàn)更多功能成為可能、可靠性提高、6英寸生產(chǎn)線的普及、新的鍵合和吸氣技術(shù)，以及改進(jìn)的封裝技術(shù)極大地提高了MEMS的適應(yīng)性和易用性。雖然MEMS器件在所有的細(xì)分市場(chǎng)上都在快速增長(zhǎng)，但是在消費(fèi)電子市場(chǎng)上增長(zhǎng)最快。
    MIG報(bào)告還描述了MEMS集成市場(chǎng)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)和當(dāng)前的挑戰(zhàn)，并論述了以下幾個(gè)方面:相容積體電路的制造工藝、晶片級(jí)密封、無(wú)線MEMS應(yīng)用（網(wǎng)格式MES感測(cè)器網(wǎng)路）、封裝技術(shù)、系統(tǒng)級(jí)集成，以及MEMS業(yè)務(wù)決策，其中包括量產(chǎn)和代工制造、知識(shí)產(chǎn)權(quán)及垂直集成問(wèn)題，以及采取一個(gè)更好的技術(shù)及制造策略的必要性。    （完）