【產(chǎn)通社，3月1日訊】中國(guó)科學(xué)院微電子研究所（Microelectronice of Chinese Academy of Sciences）官網(wǎng)消息，其近日與是德科技有限公司（Keysight Technologies）合作搭建了110GHz on-wafer片上測(cè)試系統(tǒng)。該系統(tǒng)是目前業(yè)界芯片測(cè)試領(lǐng)域頻率最高的裸片測(cè)試平臺(tái)，代表了國(guó)內(nèi)科研院所在集成電路設(shè)計(jì)及加工領(lǐng)域的最先進(jìn)水平。

片上測(cè)試需要器件S參數(shù)及直流I/V、C/V特性曲線這兩項(xiàng)主要技術(shù)參數(shù)。在測(cè)試中，該系統(tǒng)具有較為突出的優(yōu)勢(shì)：PNA-X可全頻段掃描從10MHz直到110GHz，且具有單次連接、多種參數(shù)同時(shí)測(cè)量的強(qiáng)大功能，極適用于on-wafer測(cè)試配合探針臺(tái)使用；B1500A半導(dǎo)體器件分析儀是一款具有10插槽配置的模塊化儀器，支持全功能I/V、C/V曲線表征及快速高電壓脈沖和快速脈沖測(cè)量；該系統(tǒng)還擁有專用于芯片測(cè)試的EDA軟件IC-CAP，此軟件可控制PNA-X、B1500A和探針臺(tái)協(xié)同工作、自動(dòng)測(cè)量。

隨著微波電路的工作頻率不斷升高，芯片的工作頻率逐漸提升到毫米波波段。微電子所自2008年開(kāi)始W波段器件的研究，如今已成功采用InP技術(shù)設(shè)計(jì)加工完成多款W波段芯片。查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站http://www.ime.cas.cn，以及http://www.ime.cas.cn。