【產(chǎn)通社，4月2日訊】牛津儀器（Oxford Instruments）官網(wǎng)消息，其LED產(chǎn)品經(jīng)理Mark Dineen提出了藍(lán)寶石夾持新工藝、新技術(shù)，有望能夠生產(chǎn)出更亮、價格更優(yōu)惠的LED，該項(xiàng)技術(shù)已發(fā)表于化合物半導(dǎo)體期刊。

文章中指出，LED的設(shè)備制造商們正在努力地制造更便宜，使LED出光效率更高的芯片。如果成功，LED銷量將大大增加，同時LED的應(yīng)用也將變得更加廣泛。提升LED出光效率的最有效方法是將器件的外延襯底由平面藍(lán)寶石改為蝕刻過的圖案化表面，但其工藝難點(diǎn)在于將材料蝕刻成有用的圖案并不容易，同時利用傳統(tǒng)的蝕刻方法，加工成本也將大大提高。為了解決此問題，牛津儀器等離子技術(shù)公司，開發(fā)了一種技術(shù)來解決這些問題：靜電吸附的藍(lán)寶石晶圓。

這項(xiàng)專利已在審核中尚不能公開，此技術(shù)實(shí)現(xiàn)即使在冷卻過程中，仍能吸附150mm藍(lán)寶石，持續(xù)夾持30min以上。為了削減制造成本，LED芯片制造商們已盡可能采用大量快速的晶圓生產(chǎn)LED。有了牛津儀器此項(xiàng)靜電夾持工藝，收益將會顯著增加，因?yàn)閳D案的側(cè)面形狀可以保持在晶圓的邊緣2mm以內(nèi)。

此項(xiàng)創(chuàng)新型技術(shù)將有助于降低生產(chǎn)圖案化藍(lán)寶石的單位成本。更重要的是，我們的設(shè)備也可以優(yōu)化蝕刻圖案的形狀，從而提高芯片外延的質(zhì)量，提升發(fā)光效率，這將給市場帶來更便宜，更亮的LED過程中發(fā)揮關(guān)鍵作用。

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