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晶盛機(jī)電2015年度研發(fā)投入達(dá)4838萬元獲授權(quán)發(fā)明專利27項(xiàng)
2016/8/31 19:51:35     

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【產(chǎn)通社,7月16日訊】浙江晶盛機(jī)電股份有限公司(Zhejiang Jingsheng Mechanical & Electrical;股票代碼:300316)2015年年度報(bào)告顯示,其報(bào)告期內(nèi)公司繼續(xù)加大研發(fā)投入力度,年度研發(fā)經(jīng)費(fèi)投入達(dá)4,838.44萬元,占營(yíng)業(yè)收入比例的8.18%。報(bào)告期內(nèi)公司在研發(fā)方面取得了重要進(jìn)展:

(1)2015年6月,公司承擔(dān)的國家科技重大專項(xiàng)―極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝‖(簡(jiǎn)稱02專項(xiàng))―硅材料設(shè)備應(yīng)用工程‖項(xiàng)目中的―300mm硅單晶直拉生長(zhǎng)設(shè)備的開發(fā)‖課題,在北京有研新材料股份有限公司,由國家02重大專項(xiàng)實(shí)施辦公室和總體組組織召開的項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)上,以優(yōu)秀的成績(jī)通過了國家02專項(xiàng)驗(yàn)收專家組專家的正式驗(yàn)收。

(2)公司成功研制直拉區(qū)熔法(“CFZ法”)晶體新型專用單晶爐,為客戶解決進(jìn)口昂貴的多晶棒料問題,并在2015年4月22日通過了由中國電子材料協(xié)會(huì)半導(dǎo)體分會(huì)組織的專家鑒定。

(3)在報(bào)告期,公司開發(fā)的新型“KY法全自動(dòng)藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐”取得了自動(dòng)洗晶技術(shù)、自動(dòng)引晶技術(shù)、自動(dòng)控制、智能化的生產(chǎn)管理等關(guān)鍵技術(shù)突破,使公司生產(chǎn)的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐不僅可以大幅提高長(zhǎng)晶過程的自動(dòng)化程度,減少人為因素引起的晶體品質(zhì)差異,提高綜合成品率,縮短長(zhǎng)晶周期及降低能耗,并解決了規(guī);、大投料藍(lán)寶石晶體裝備的核心技術(shù)。

(4)公司新一區(qū)熔硅單晶爐,改進(jìn)了設(shè)計(jì),加大了投料量,采用多個(gè)CCD技術(shù),實(shí)現(xiàn)了遠(yuǎn)程操作并提高了自動(dòng)化水平,其主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國際先進(jìn)水平,打破了國外壟斷的格局,今年已開始量產(chǎn)。

(5)公司成功研發(fā)了新一代金剛線切方的“單晶硅棒切磨復(fù)合加工一體機(jī)”自動(dòng)化設(shè)備,與第一代相比,節(jié)約了硅料損耗,降低了生產(chǎn)成本,該設(shè)備已經(jīng)得到用戶的使用驗(yàn)證,并已實(shí)現(xiàn)批量銷售。同時(shí)在上述基礎(chǔ)上,新研制出多晶硅塊切磨一體機(jī)、晶棒單線截?cái)鄼C(jī)和硅塊單線截?cái)鄼C(jī)可取代現(xiàn)有的傳統(tǒng)帶鋸切割和分體加工設(shè)備。晶棒單線截?cái)鄼C(jī)是采用金剛線切割的方式進(jìn)行單晶硅棒截?cái)嗉庸さ膶S迷O(shè)備,可實(shí)現(xiàn)從上料、加工、下料等全過程的自動(dòng)控制。而硅塊單線截?cái)鄼C(jī)是采用金剛線切割技術(shù)進(jìn)行多晶硅塊切斷加工的專用設(shè)備,可同時(shí)實(shí)現(xiàn)32塊多晶硅塊的全自動(dòng)加工,上述兩種設(shè)備該設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,加工工藝精良,可滿足現(xiàn)代車間的自動(dòng)化、高效率、智能化、量產(chǎn)化的流水線生產(chǎn)的需求,具有較高的性價(jià)比和廣闊的市場(chǎng)應(yīng)用前景。

截止2015年12月31日,公司及全資子公司獲授權(quán)的發(fā)明專利27項(xiàng),實(shí)用新型132項(xiàng),外觀專利12項(xiàng)。

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