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晶盛機電300mm硅單晶直拉生長設(shè)備開發(fā)課題通過驗收
2016/8/31 20:34:10     

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【產(chǎn)通社,8月31日訊】浙江晶盛機電股份有限公司(Zhejiang Jingsheng Mechanical & Electrical;股票代碼:300316)2016年半年度報告顯示,其報告期內(nèi)從事的一些重要研發(fā)項目的進展及影響如下:

(1)公司承擔(dān)的國家科技重大專項―極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝2(以下簡稱02專項)―硅材料設(shè)備應(yīng)用工程2項目中的―300mm硅單晶直拉生長設(shè)備的開發(fā)2課題,在2015年6月北京有研新材料股份有限公司,由國家02重大專項實施辦公室和總體組組織召開的項目驗收會上,以優(yōu)秀的成績通過了國家02專項驗收專家組專家的正式驗收。

(2)公司成功研制直拉區(qū)熔法(簡稱―CFZ法2)晶體新型專用單晶爐,為客戶解決進口昂貴的多晶棒料問題,并在2015年4月通過了由中國電子材料協(xié)會半導(dǎo)體分會組織的專家鑒定。

(3)公司開發(fā)的新型―KY法全自動藍寶石晶體生長爐‖取得了自動洗晶技術(shù)、自動引晶技術(shù)、自動控制、智能化的生產(chǎn)管理等關(guān)鍵技術(shù)突破,使公司生產(chǎn)的藍寶石晶體生長爐不僅可以大幅提高長晶過程的自動化程度,減少人為因素引起的晶體品質(zhì)差異,提高綜合成品率,縮短長晶周期及降低能耗,并解決了規(guī);⒋笸读纤{寶石晶體裝備的核心技術(shù);公司在此基礎(chǔ)上研發(fā)的新型120kg-150kg大投料藍寶石晶體生長爐已經(jīng)研發(fā)成功,并能批量生產(chǎn)出合格的晶體。

(4)公司新一代區(qū)熔硅單晶爐,改進了設(shè)計,加大了投料量,采用多個CCD技術(shù),實現(xiàn)了遠程操作并提高了自動化水平,其主要技術(shù)指標(biāo)達到了國際先進水平,打破了國外壟斷的格局,已經(jīng)開始量產(chǎn)。

(5)公司成功研發(fā)一系列晶體加工設(shè)備,包括單晶硅棒切磨復(fù)合加工一體機,多晶硅塊磨面倒角一體機、單晶硅棒單線截斷機和多晶硅塊單線截斷機。以上設(shè)備可取代現(xiàn)有的傳統(tǒng)帶鋸截斷設(shè)備和分體磨削加工設(shè)備,這幾種設(shè)備自動化程度高,加工工藝精良,降低客戶生產(chǎn)成本,提高加工效率及產(chǎn)品質(zhì)量,可滿足現(xiàn)代車間的自動化、高效率、智能化、量產(chǎn)化的流水線生產(chǎn)的需求,具有較高的性價比和廣闊的市場應(yīng)用前景。

(6)公司成功研發(fā)出新一代氣冷多晶鑄錠爐,配套G7熱場,可加大了投料量最多至1200kg,提高30%單爐產(chǎn)能,而且進一步優(yōu)化氣致冷卻結(jié)構(gòu),改善冷卻的均勻性,并提高保溫性能,達到降低能耗和提高硅碇品質(zhì)的效果,其主要技術(shù)指標(biāo)達到了國際先進水平。同時改進熱場的結(jié)構(gòu)設(shè)計,創(chuàng)新性的解決大投料下氧化物堆積的行業(yè)難題,公司在鑄錠爐上繼續(xù)堅持不斷的研發(fā)投入,使得多晶爐在行業(yè)內(nèi)更具技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢。

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