【產(chǎn)通社，10月4日訊】中國科學(xué)院微電子研究所（Microelectronice of Chinese Academy of Sciences）官網(wǎng)消息，在9月22-23日于合肥召開的《第三屆全球傳感器高峰論壇暨中國物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用峰會》上，與會嘉賓表示物聯(lián)網(wǎng)新應(yīng)用不斷涌現(xiàn)，MEMS傳感器成為傳感器產(chǎn)業(yè)的新機遇。

但值得關(guān)注的是，MEMS傳感器市場“好看不好吃”，鑒于碎片化的細分市場和獨特的技術(shù)要求，MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)面臨諸多挑戰(zhàn)。在中科院微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心主任趙超看來，國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)包括：MEMS市場細分化突出，生產(chǎn)線投資大、風(fēng)險高，企業(yè)產(chǎn)品同質(zhì)化、惡性競爭，缺少產(chǎn)品開發(fā)平臺等。

趙超介紹，為加快國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)化，針對上述挑戰(zhàn)，中科院微電子所建立了MEMS研發(fā)平臺，其8吋MEMS中試線工藝穩(wěn)定性達到98%；針對三軸重力加速度計、Vox基紅外圖像傳感器、醫(yī)用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（F-BAR）、MEMS紅外探測器等產(chǎn)品，中試線可靈活、高效地對外提供特種工藝和小批量生產(chǎn)服務(wù)及詳細工藝方案。

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