【產(chǎn)通社，10月18日訊】應(yīng)用材料公司（Applied Materials；NASDAQ股票代碼：AMAT）官網(wǎng)消息，其日前推出的顯示器產(chǎn)業(yè)首臺(tái)可于生產(chǎn)在線使用的高分辨率電子束檢視（EBR）系統(tǒng)，可讓面板廠能更迅速達(dá)成OLED與UHD LCD產(chǎn)品的優(yōu)化良率，為顯示器產(chǎn)業(yè)注入新概念、新活力。

應(yīng)用材料公司資深副總裁暨顯示器及相關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)事業(yè)群及全球服務(wù)事業(yè)群總經(jīng)理Ali Salehpour表示：“嶄新的EBR系統(tǒng)是我們顯示器產(chǎn)品堅(jiān)實(shí)的生力軍，能協(xié)助客戶解決OLED與LCD面板制造的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。結(jié)合應(yīng)用材料公司獨(dú)特的兩項(xiàng)技術(shù)─半導(dǎo)體良率優(yōu)化技術(shù)以及面板級(jí)掃描電子顯微鏡（SEM）技術(shù)，不但能開(kāi)拓潛在市場(chǎng)，還能幫助客戶避開(kāi)優(yōu)化良率過(guò)程上高成本的耗損。新興應(yīng)用如擴(kuò)增實(shí)境與虛擬現(xiàn)實(shí)、智能型載具等都需要形式上更好更新的顯示器。隨著這些應(yīng)用的日益增加，我們的EBR正好是因運(yùn)而生的解決方案，更是幫助客戶產(chǎn)品實(shí)時(shí)上市的推手。”

中國(guó)天馬微電子集團(tuán)副總裁馬駿博士表示：“身為全球顯示器領(lǐng)導(dǎo)廠，天馬肯定與應(yīng)用材料公司堅(jiān)實(shí)的合作關(guān)系，有助于天馬發(fā)展新技術(shù)，生產(chǎn)符合消費(fèi)者需求的高質(zhì)量、高效能行動(dòng)裝置顯示器。應(yīng)用材料公司的EBR系統(tǒng)能縮短我們武漢廠從建廠到量產(chǎn)的時(shí)間，使我們有能力加速將更先進(jìn)的顯示器技術(shù)迅速導(dǎo)入市場(chǎng)。除了EBR，我們也期待應(yīng)用材料公司在行動(dòng)顯示制造上引進(jìn)更多半導(dǎo)體良率技術(shù)。”


產(chǎn)品特點(diǎn)


將原來(lái)運(yùn)用在半導(dǎo)體組件檢視的先進(jìn)掃描式電子顯微鏡技術(shù)，進(jìn)一步結(jié)合在大尺寸顯示器的真空系統(tǒng)平臺(tái)上，成為生產(chǎn)在線使用的EBR技術(shù)，以最快速有效的方式，在制造先進(jìn)行動(dòng)裝置與電視顯示器時(shí)，發(fā)現(xiàn)與分析造成良率損失缺陷的原因。當(dāng)制造商追求迅速、成本效益，創(chuàng)造良率極大化，更快速地向市場(chǎng)推出新型式顯示器時(shí)，EBR系統(tǒng)已接獲世界前十大顯示器制造商中六家的訂單，且訂單需求持續(xù)增加中。

先進(jìn)的顯示器科技需要增加更多的制程步驟，因而會(huì)帶進(jìn)更多、更細(xì)微的污染物及新型態(tài)的缺陷。目前在顯示器制造中所使用的自動(dòng)光學(xué)缺陷檢測(cè)機(jī)臺(tái)無(wú)法像掃描式電子顯微鏡（SEM）一樣有效地辨識(shí)致命與非致命的缺陷，或確認(rèn)系統(tǒng)性地的起因。在應(yīng)用材料公司尚未推出EBR系統(tǒng)之前，以SEM分析顯示器制品，需用破壞性檢視，必須將玻璃基板切割成小片以取得樣品，再分別將每塊小片于顯微鏡下做檢查。這不但耗資、耗時(shí)，還幾乎無(wú)法定位缺陷在整片面板上確切的位置。應(yīng)用材料公司藉由提供制造在線的SEM檢視，以業(yè)界最高分辨率及分析速度，又不需要破壞面板，可一舉解決上述的這些限制。


供貨與報(bào)價(jià)


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