【產(chǎn)通社，12月3日訊】SCREEN Semiconductor Solutions消息，其將和CEA Tech旗下的研究機(jī)構(gòu)Leti已加強(qiáng)合作，將在Leti的基地安裝納秒級(jí)紫外線（UV）激光退火LT-3100系統(tǒng)，該系統(tǒng)將由總部位于法國(guó)的SCREEN旗下子公司Laser Systems and Solutions of Europe（LASSE）提供。 

Leti首席執(zhí)行官M(fèi)arie Semeria表示：“將SCREEN的納秒級(jí)紫外線激光退火刀具引入到Leti先進(jìn)的工業(yè)化前設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)施中，將為現(xiàn)場(chǎng)部署當(dāng)前和未來(lái)技術(shù)帶來(lái)新的創(chuàng)新機(jī)會(huì)。隨著SOI、CoolCubeTM和納米線技術(shù)的發(fā)展，我們?cè)陂_(kāi)發(fā)新材料性能和超薄膜改性且將熱影響降至最低方面正面臨日益嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。利用LT-3100系統(tǒng)將催生帶來(lái)技術(shù)突破的解決方案，并最終帶動(dòng)行業(yè)開(kāi)發(fā)實(shí)用型實(shí)物模型。” 

SCREEN Semiconductor Solutions總裁Tadahiro Suhara表示：“繼長(zhǎng)期與Leti保持成功的共同開(kāi)發(fā)合作之后，我們非常高興能有此機(jī)會(huì)為L(zhǎng)eti的生態(tài)系統(tǒng)帶來(lái)我們的激光技術(shù)，以滿足‘超越摩爾定律’（More than Moore）、物聯(lián)網(wǎng)和未來(lái)創(chuàng)新技術(shù)要求。除了開(kāi)展合作活動(dòng)之外，我們還將利用Leti的先進(jìn)基礎(chǔ)設(shè)施來(lái)運(yùn)營(yíng)我們的LASSE歐洲演示實(shí)驗(yàn)室，從而賦予我們的客戶前所未有的演示基礎(chǔ)設(shè)施能力。我們期望展現(xiàn)我們的納秒級(jí)紫外線激光設(shè)備技術(shù)和資源帶來(lái)的創(chuàng)新價(jià)值，從而在由Leti所支持的多個(gè)研發(fā)領(lǐng)域推進(jìn)半導(dǎo)體工藝開(kāi)發(fā)。”

激光刀具有望于2017年上半年全面投產(chǎn)，并將支持多種晶圓尺寸要求，從而滿足Leti實(shí)驗(yàn)室的不同需求。查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站http://www.screen.co.jp/eng/spe，以及http://www.leti.fr。    （完）