【產(chǎn)通社，12月26日訊】中國科學(xué)院微電子研究所（Microelectronice of Chinese Academy of Sciences）官網(wǎng)消息，中國科學(xué)院大學(xué)“半導(dǎo)體工藝與制造技術(shù)”課程實(shí)訓(xùn)12月17日在微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心舉行。國科大電子學(xué)院選修“半導(dǎo)體工藝與制造技術(shù)”課程的130多名研究生在工藝線完成了集成電路工藝課程實(shí)訓(xùn)。

實(shí)訓(xùn)中，平臺(tái)一線工程師對(duì)生產(chǎn)線工作規(guī)程、質(zhì)量控制、沾污控制、安全和超凈間事故應(yīng)急處置措施等進(jìn)行了介紹，使大家對(duì)凈化工藝線有了初步的感性認(rèn)識(shí)。隨后，同學(xué)們穿上超凈服進(jìn)入工藝線，實(shí)地系統(tǒng)學(xué)習(xí)離子注入、擴(kuò)散、濕法清洗、外延生長、薄膜原子層淀積（ALD）、低壓化學(xué)氣相淀積（LPCVD）、等離子體干法刻蝕、光刻、化學(xué)機(jī)械平坦化、濺射與電子束蒸發(fā)、等離子體化學(xué)氣相淀積（PECVD）、快速熱退火（RTP）、薄膜量測及電學(xué)性能測量等工藝模塊。同學(xué)們充滿了熱情和好奇，大家始終精神飽滿，認(rèn)真聆聽一線科研人員的講解，不時(shí)提出問題，努力將課堂知識(shí)與科研實(shí)踐聯(lián)系起來，加深對(duì)半導(dǎo)體工藝與制造技術(shù)課程內(nèi)容的學(xué)習(xí)。

微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心擁有凈化面積約3000平方米的8英寸研發(fā)線。平臺(tái)采用工業(yè)標(biāo)配設(shè)備，實(shí)行工業(yè)化管理。依托這樣的平臺(tái)開展實(shí)訓(xùn)，不僅可以加深學(xué)生對(duì)課堂所授理論知識(shí)的理解，也可提供真實(shí)的工業(yè)環(huán)境，使學(xué)生實(shí)地了解工藝工程師的工作模式、氛圍和意義，不斷提升理論聯(lián)系實(shí)際的能力。

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