【產(chǎn)通社，4月23日訊】江蘇南大光電材料股份有限公司（Nata Opto-electronic Material；股票代碼：300346）2016年年度報(bào)告顯示，其報(bào)告期內(nèi)與科學(xué)技術(shù)部針對(duì)“ALD金屬有機(jī)前驅(qū)體產(chǎn)品的開發(fā)和安全離子注入產(chǎn)品開發(fā)”項(xiàng)目簽訂了《國家科技重大專項(xiàng)課題任務(wù)合同書》，課題的研究內(nèi)容是ALD金屬有機(jī)前驅(qū)體產(chǎn)品的開發(fā)和安全氣體源開發(fā)。本課題的研究目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)安全氣體源的國產(chǎn)化和開發(fā)出適用于20-14nm先導(dǎo)產(chǎn)品的工藝的ALD前驅(qū)體以及其相關(guān)的工藝驗(yàn)證。目前該項(xiàng)目正在按計(jì)劃順利進(jìn)行。

報(bào)告期內(nèi)，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(xiàng)《高純砷烷、磷烷等特種氣體的研發(fā)與中試》項(xiàng)目，目前該項(xiàng)目已建設(shè)完成并已按計(jì)劃形成了35噸高純磷烷、15噸高純砷烷的生產(chǎn)能力，各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了項(xiàng)目要求，產(chǎn)業(yè)化研發(fā)任務(wù)順利完成。

截止報(bào)告期末，公司共獲得專利21項(xiàng)，其中：發(fā)明專利9項(xiàng)，實(shí)用新型專利12項(xiàng)。查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問官方網(wǎng)站http://www.natachem.com。     （完）