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牛津儀器Oxford C-Swift EBSD探測器基于CMOS技術(shù)
2018/7/17 12:09:12     

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【產(chǎn)通社,7月17日訊】牛津儀器(Oxford Instruments)官網(wǎng)消息,C-Swift EBSD高速型EBSD探測器基于CMOS技術(shù),繼承了CMOS EBSD高靈敏度和高速度的優(yōu)點,用來替換基于CCD技術(shù)的高速型EBSD Nordlys Max3,具有很高的性價比。C-Swift可以用于所有的EBSD應(yīng)用,尤其適合分析常規(guī)金屬和合金、常規(guī)礦物和氧化物、變形態(tài)的金屬和合金、TKD實驗、晶界工程研究、原位應(yīng)用、3D-EBSD應(yīng)用等。


產(chǎn)品特點


C-Swift最快的采集速度能達到1000點/秒,同時花樣能達到156×128像素的分辨率。在如此高速條件下,依然保持較高的花樣清晰度(相當(dāng)于CCD EBSD常用的160×120像素分辨率),使得C-Swift對實際樣品的采集速度相比基于CCD技術(shù)的快速型EBSD大大提高。在全分辨率的622×512像素條件下,最快采集速度能達到250點/秒,這樣也能滿足高精度EBSD的應(yīng)用需求,同時采集速度也能很快。

C-Swift繼承了Symmetry探測器的很多優(yōu)秀設(shè)計:錐形的前端避免遮擋其他探測器;最多能配5個FSD探測器;超級高效率的光學(xué)系統(tǒng)具有很低的圖像畸變,每個探測器在出廠檢測時圖像畸變小于一個像素;具有非接觸式碰撞探測,能在碰撞發(fā)生之前報警規(guī)避,這將增加操作者的信心。

C-Swift在高速條件下,采集的花樣相比CCD EBSD更清晰。對于CCD EBSD來講,采集速度要達到1000點/秒,需要用到較大的像素合并,然而,合并之后80×60像素的花樣清晰度變差,很難達到實際應(yīng)用的需求。而對于C-Swift來講,1000點/秒速度條件下,156×128像素的花樣清晰度足夠滿足EBSD標(biāo)定和采集面分布圖的需求,非常適合實際樣品的數(shù)據(jù)采集。

C-Swift在實際樣品上的表現(xiàn)相當(dāng)不錯。我們先看一個Ti64合金的EBSD面分布圖例子。它的實際采集速度達到972點/秒,標(biāo)定率達到98%。在20kV條件下,采用100nm的步長,采集面積為215.2×161.3mm2,總計約345萬像素,采集時間不到1小時。

對于通常比較難做的馬氏體鋼,C-Swift也有很好的表現(xiàn)。這個馬氏體鋼的EBSD面分布圖采集速度達到了972點/秒,標(biāo)定率優(yōu)于92%,步長32nm。整個采集時間為1小時23分鐘,面分布圖共采集了2432×1962、約487萬個像素。馬氏體由于晶體結(jié)構(gòu)本身的原因,花樣質(zhì)量較差,實際采集一般很難做到高速。C-Swift的實際采集速度能達到接近1000點/秒,性能表現(xiàn)非常優(yōu)秀。

C-Swift還能應(yīng)對高角度分辨率的應(yīng)用需求。通常Al合金變形之后時效會形成位錯胞結(jié)構(gòu),將原來的晶粒分割為亞晶,而亞晶與亞晶之間的取向差很小。C-Swift全分辨率的花樣可達到622×512像素,此時EBSD面分布圖的取向精度能達到優(yōu)于0.1度。在這個Al合金樣品上,采集速度達到90點/秒,步長為250nm,標(biāo)定率達到99.9%。


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