【產(chǎn)通社，9月24日訊】上海微電子裝備有限公司（SMEE）官網(wǎng)消息，第20屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)9月19-23日在國(guó)家會(huì)展中心（上海）舉辦，SMEE以“光刻夢(mèng)想，芯創(chuàng)未來(lái)”為主題參展，隆重展出了應(yīng)用于IC前道制造的600系列光刻機(jī)以及應(yīng)用于AM-OLED和LCD顯示屏TFT電路制造的200系列光刻機(jī)。

其中，600系列IC前道投影光刻機(jī)榮獲本屆工博會(huì)銀獎(jiǎng)。這是繼500系列先進(jìn)封裝光刻機(jī)榮獲第14屆工博會(huì)金獎(jiǎng)、300系列步進(jìn)投影光刻機(jī)榮獲第15屆工博會(huì)銅獎(jiǎng)、4.5代高分辨率投影光刻機(jī)榮獲第18屆工博會(huì)金獎(jiǎng)、SPA200系列光配向設(shè)備榮獲第19屆工博會(huì)銀獎(jiǎng)之后，我司產(chǎn)品再度攬獲工博會(huì)獎(jiǎng)項(xiàng)。

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