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五所CEPREI發(fā)明專利“倒裝芯片檢測樣品的制備方法”獲優(yōu)秀獎
2019/12/30 22:09:00     

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【產(chǎn)通社,12月30日訊】中國賽寶實驗室(China CEPREI Laboratory)官網(wǎng)消息,根據(jù)《第六屆廣東專利獎評選結(jié)果公示》公告,林曉玲團隊的發(fā)明專利“倒裝芯片檢測樣品的制備方法”近期獲得了廣東省專利優(yōu)秀獎。

“倒裝芯片檢測樣品的制備方法”創(chuàng)新性的提出了倒裝芯片背面精確減薄法,將初始約1毫米厚的芯片減薄到小于100微米,精度正負2個微米,并保證減薄前后芯片電性能不變。該技術(shù)與地面抗輻射能力評估試驗相結(jié)合,成功解決了國內(nèi)宇航級集成電路抗單粒子評估試驗難題,為“嫦娥”和“玉兔”可靠運行做出了關(guān)鍵技術(shù)支撐。與缺陷定位技術(shù)相結(jié)合,高效地完成失效分析;與背面電路修改相結(jié)合,為設(shè)計驗證提供手段。該技術(shù)在航天五院、國防科大、復(fù)旦微、西安微電子研究所等單位中得到了廣泛應(yīng)用,也得到了他們非常高的認可度和滿意度。還為加拿大薩省大學(xué)、美國思科公司解決了他們樣品的芯片減薄問題,每年為單位產(chǎn)生過百萬的經(jīng)濟收入。

查詢進一步信息,請訪問官方網(wǎng)站http://www.ceprei.com。(robin, 張底剪報)    (完)
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