【產(chǎn)通社，2月9日訊】沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（KINGSEMI Co., Ltd.；股票代碼：688037）招股說明書顯示，其生產(chǎn)的涂膠顯影設(shè)備產(chǎn)品成功打破國(guó)外廠商壟斷并填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)，作為國(guó)內(nèi)廠商主流機(jī)型已成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代；在集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)，公司成功突破了前道涂膠顯影設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)，于2018年下半年分別發(fā)往上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)進(jìn)行工藝驗(yàn)證，其中，上海華力機(jī)臺(tái)已于2019年9月通過工藝驗(yàn)證并確認(rèn)收入，長(zhǎng)江存儲(chǔ)機(jī)臺(tái)目前仍在驗(yàn)證中。

作為公司標(biāo)桿產(chǎn)品，光刻工序涂膠顯影設(shè)備系集成電路制造過程中不可或缺的關(guān)鍵處理設(shè)備，主要與光刻機(jī)（芯片生產(chǎn)線上最龐大、最精密復(fù)雜、難度最大、價(jià)格最昂貴的設(shè)備）配合進(jìn)行作業(yè)，通過機(jī)械手使晶圓在各系統(tǒng)間傳輸和處理，從而完成晶圓的光刻膠涂覆、固化、顯影、堅(jiān)膜等工藝過程。作為光刻機(jī)的輸入（曝光前光刻膠涂覆）和輸出（曝光后圖形的顯影），涂膠/顯影機(jī)的性能不僅直接影響到細(xì)微曝光圖案的形成，其顯影工藝的圖形質(zhì)量和缺陷控制對(duì)后續(xù)諸多工藝（諸如蝕刻、離子注入等）中圖形轉(zhuǎn)移的結(jié)果也有著深刻的影響。

查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問官方網(wǎng)站http://www.kingsemi.com。（張底剪報(bào)）    （完）