【產(chǎn)通社，4月17日訊】中微半導體設備有限公司（Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.；股票代碼：688012）2019年年度報告顯示，其正在開發(fā)新一代的電容性等離子體刻蝕設備，可加工先進邏輯器件，包括大馬士革在內(nèi)的各種刻蝕應用，能夠涵蓋5納米及更先進工藝刻蝕需求和更多關鍵應用。公司的電容性等離子體介質(zhì)刻蝕設備已應用于64層閃存器件的量產(chǎn)，正在開發(fā)新一代涵蓋128層和更先進關鍵刻蝕應用的刻蝕設備和工藝。此外，公司的電感性ICP等離子刻蝕設備已經(jīng)在多個邏輯芯片和存儲芯片廠商的生產(chǎn)線上量產(chǎn)，正在進行下一代產(chǎn)品的研發(fā)，以滿足7納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產(chǎn)品的刻蝕需求。 

2019年嗎，公司營業(yè)收入同比增長18.77%達到19.47億元，歸母凈利潤同比增長107.51%達到1.89億元。公司的等離子體刻蝕設備已應用在國內(nèi)外知名廠商55納米到5納米的眾多芯片生產(chǎn)線上；特別是中微的電容性CCP等離子體刻蝕設備，已在國際領先的晶圓生產(chǎn)線核準5納米的若干關鍵步驟的加工。

公司的MOCVD設備已在全球氮化鎵基LED設備市場中占據(jù)領先地位。公司研發(fā)的用于制造深紫外光LED的MOCVD設備已在行業(yè)領先客戶端驗證成功。用于Mini LED生產(chǎn)的MOCVD設備的研發(fā)工作正在有序進行中。制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD設備也在開發(fā)中。公司同時兼顧外延性發(fā)展，子公司中微匯鏈、中微惠創(chuàng)在新業(yè)務拓展領域取得了積極的進展。此外，公司也參股投資了一些具有協(xié)同效應潛力的項目。 

查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.amec-inc.com。（robin, 張底剪報）    （完）