【產(chǎn)通社，5月23日訊】上海微電子裝備有限公司（SMEE）官網(wǎng)宣布，其高亮度LED步進(jìn)投影光刻機(jī)從1200多個(gè)申報(bào)項(xiàng)目中成功突圍，入選“上海設(shè)計(jì)100+”。
 
該高亮度LED步進(jìn)投影光刻機(jī)面向6英寸以下中小基底，是中國首臺先進(jìn)光刻應(yīng)用領(lǐng)域的光刻機(jī)產(chǎn)品，可滿足HB-LED等領(lǐng)域單面或雙面的光刻工藝需求，解決了LED產(chǎn)業(yè)大翹曲藍(lán)寶石高分辨率、高拼接精度、大焦深、高產(chǎn)率的光刻需求，且支持藍(lán)寶石鍵合片特殊工藝。自產(chǎn)品問世以來，先后榮獲“第十五屆中國國際工業(yè)博覽會銅獎(jiǎng)”、“上海市專利新產(chǎn)品”、“第十三屆（2018年度）中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎(jiǎng)”、工信部第四批“制造業(yè)單項(xiàng)冠軍產(chǎn)品”等榮譽(yù)。

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