【產(chǎn)通社，5月28日訊】日本電子株式會社（JEOL Ltd.；TOKYO股票代碼：6951）消息，其新型肖特基場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-IT800，采用了智能技術(shù)（IT）平臺，配有新的高位混合檢測器（UHD），可實現(xiàn)更高的信噪比圖像。


產(chǎn)品特點(diǎn)


掃描電子顯微鏡（SEM）應(yīng)用于各種領(lǐng)域，例如納米技術(shù)、金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、醫(yī)學(xué)和生物學(xué)。隨著SEM應(yīng)用從研發(fā)擴(kuò)展到生產(chǎn)現(xiàn)場的質(zhì)量控制和產(chǎn)品檢驗，SEM用戶需要更快的高質(zhì)量數(shù)據(jù)采集以及簡單的組成信息確認(rèn)和無縫操作。 

為了滿足這些需求，帶有智能技術(shù)（IT）平臺的JSM-IT800集成了用于從高分辨率成像到快速元素映射的浸沒式（In-lens）肖特基Plus場發(fā)射電子槍，創(chuàng)新的電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine，以及可與JEOL能量色散X射線光譜儀（EDS）完全集成的無縫GUI SEM Center。JSM-IT800提供兩個版本，分別配備不同的物鏡：用于通用SEM的混合透鏡（HL）和用于增強(qiáng)分辨率觀察和各種分析的超級混合透鏡（SHL）。

此外，SHL版本還配有新的高位混合檢測器（UHD），可實現(xiàn)更高的信噪比圖像。

JSM-IT800還提供新的閃爍體背散射電子檢測器（SBED）和多功能背散射電子檢測器（VBED）。JSM-IT800主要特點(diǎn)包括：
（1）浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍：電子槍與低像差聚光透鏡的進(jìn)一步整合帶來更高的亮度。在低加速電壓下（5kV時為100nA）具有足夠的探頭電流。獨(dú)特的浸沒式肖特基Plus系統(tǒng)可實現(xiàn)從高分辨率成像到快速元素映射、電子背散射衍射（EBSD）分析以及軟X射線發(fā)射光譜（SXES）的各種應(yīng)用，而無需更改透鏡條件。 
（2）Neo Engine（新型電子光學(xué)引擎）：Neo Engine是一種累積了JEOL多年核心技術(shù)的尖端電子光學(xué)系統(tǒng)。即使更改觀察或分析條件，用戶仍可進(jìn)行穩(wěn)定觀察。其自動化功能的高度可操作性得到了進(jìn)一步增強(qiáng)。 
（3）SEM Center / EDS集成：GUI SEM Center和JEOL EDS的完全集成可實現(xiàn)無縫、直觀的操作。JSM-IT800可以通過添加可選軟件擴(kuò)展進(jìn)行增強(qiáng)，例如幫助新手用戶使用的SMILENAVI，以及用于獲得更高質(zhì)量實時圖像的LIVE-AI濾鏡（Live Image Visual Enhancer-AI）。 
（4）混合鏡頭（HL）版本和超級混合鏡頭（SHL）版本：基于靜電場和電磁場透鏡的組合，JSM-IT800提供兩種類型的物鏡以滿足用戶的各種需求，以實現(xiàn)高空間分辨率成像，和從磁性材料到絕緣體的各種樣品分析功能。 
（5）高位混合檢測器（UHD）：SHL版本的物鏡中內(nèi)置的UHD可極大地提高檢測效率，能獲得具有更高信噪比的圖像。 
（6）新型背散射電子檢測器：閃爍體背散射電子檢測器（SBED，可選）具有高響應(yīng)度，適合在低加速電壓下獲取與材料形成對比的圖像。具有分段檢測器元件設(shè)計的多功能背散射電子檢測器（VBED，可選）允許用戶選擇配置單個段或使用預(yù)編程的檢測器設(shè)置來獲取具有三維、局部或成分信息的圖像。 


供貨與報價
 

JSM-IT800 SHL版本銷售目標(biāo)90臺/年，JSM-IT800 HL版本銷售目標(biāo)50臺/年。查詢進(jìn)一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.jeol.co.jp/en/support/support_system/contact_products.html。（Lisa WU, 365PR Newswire）    （完）