【產(chǎn)通社，6月4日訊】上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（SHANGHAI KINGSTONE SEMICONDUCTOR CORP.；NEEQ股票代碼：870315）官網(wǎng)消息，北京市科學(xué)技術(shù)委員會公示的2019年度北京市科學(xué)技術(shù)獎項目評審結(jié)果中，萬業(yè)企業(yè)全資子公司凱世通等共同承擔(dān)的“大束流離子注入機裝備及工藝研發(fā)”項目成功榮膺科技進步獎一等獎。

凱世通是目前國內(nèi)唯一覆蓋集成電路、光伏及AMOLED離子注入機三大類設(shè)備的制造企業(yè)，其研發(fā)生產(chǎn)的離子注入機是半導(dǎo)體制造工藝中技術(shù)最為復(fù)雜的設(shè)備之一。離子注入機與光刻機、刻蝕設(shè)備和薄膜沉積設(shè)備被并稱為集成電路制造的“四大金剛”。

資料顯示，萬業(yè)企業(yè)于2018年成功收購離子注入機制造商凱世通，向集成電路轉(zhuǎn)型邁出關(guān)鍵的一步。離子注入是通過對半導(dǎo)體材料表面進行某種元素的摻雜，從而改變其特性的工藝制程，在集成電路(IC)工業(yè)中得到廣泛的應(yīng)用。作為離子注入制程的裝備—離子注入機，是先進IC生產(chǎn)線上最關(guān)鍵的工具之一，每年全球擁有15-20億美金的市場規(guī)模。

北京市科學(xué)技術(shù)獎是北京市政府在科技方面的最高獎項，由北京市人民政府設(shè)立，旨在獎勵做出重大科學(xué)發(fā)現(xiàn)、重大技術(shù)發(fā)明，完成和應(yīng)用推廣創(chuàng)新性科技成果，在推動科技進步和經(jīng)濟社會發(fā)展方面具有突出貢獻的個人和組織。此次凱世通大束流離子注入機裝備及工藝研發(fā)項目獲得科學(xué)技術(shù)進步獎，標(biāo)志著凱世通的技術(shù)研發(fā)實力有了進一步的提升和突破，也無疑成為萬業(yè)企業(yè)轉(zhuǎn)型集成電路的助推器。

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