【產(chǎn)通社，10月27日訊】上海硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司（National Silicon Industry Group Co.,Ltd.；股票代碼：688126）官網(wǎng)消息，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(xiàng)(02重大專項(xiàng))實(shí)施管理辦公室組織專家組9月28日在上海新昇召開02專項(xiàng)綜合績效評價會。由上海新昇承擔(dān)的“40-28nm集成電路制造用300mm硅片技術(shù)研發(fā)”項(xiàng)目順利通過了驗(yàn)收。

本次項(xiàng)目驗(yàn)收組由15位專家組成，由02專項(xiàng)咨詢委主任馬俊如先生擔(dān)任組長。會上專家組成員聽取了項(xiàng)目完成情況報告，現(xiàn)場測試報告和用戶使用報告，審閱驗(yàn)收資料、查看項(xiàng)目審計報告，抽查原始憑證、材料清單等相關(guān)資料，并進(jìn)行了現(xiàn)場考察。經(jīng)過問詢、討論，驗(yàn)收專家組認(rèn)為該專項(xiàng)完成成績優(yōu)異，決定該項(xiàng)目通過驗(yàn)收。

通過承擔(dān)此項(xiàng)02重大專項(xiàng)，上海新昇成功開發(fā)了300mm拋光片和外延片成套制備技術(shù)，各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到任務(wù)合同書的考核要求，構(gòu)建了一支高水平的技術(shù)與管理團(tuán)隊(duì)，自主創(chuàng)新能力不斷提升并完成了知識產(chǎn)權(quán)布局，圓滿完成了項(xiàng)目既定的15萬片/年的產(chǎn)能建設(shè)目標(biāo)。

驗(yàn)收會上，專家組對新昇在項(xiàng)目實(shí)行過程中取得的成果給予高度評價，經(jīng)過艱苦努力，新昇實(shí)現(xiàn)了我國 300mm大硅片產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)業(yè)化突破，具有十分重大的意義。后續(xù)，新昇要保持國內(nèi)300mm半導(dǎo)體硅片行業(yè)龍頭企業(yè)優(yōu)勢，始終以前瞻的眼光、先進(jìn)的技術(shù)水平和創(chuàng)新的精神適應(yīng)不斷變化的市場，為中國的集成電路行業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量。

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