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DISCO迪思科DFG80系列全自動研磨機(jī)滿足半導(dǎo)體多樣化封裝研磨需求
2020/12/13 13:35:27     

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【產(chǎn)通社,12月13日訊】迪思科高科技股份有限公司(DISCO Corporation;TSE東京證券交易所股票代碼:6146)官網(wǎng)消息,作為半導(dǎo)體機(jī)臺制造商,其開發(fā)了2種能對應(yīng)多樣化封裝研磨需求的全自動研磨機(jī)機(jī)型,分別是能對應(yīng)最大390×390mm尺寸的面板等級封裝需求DFG8020,與能對應(yīng)Strip(短冊型基板)的DFG8030將會同時(shí)上市。


產(chǎn)品特點(diǎn)


5G服務(wù)開始后,以智能型手機(jī)為首的高端終端消費(fèi)商品數(shù)量增加。高周波(RF)模塊或電力管理等所相關(guān)FOWLP或PLP等高密度封裝的采用,封裝的薄化及以形成配線層為目的的研磨需求便隨之越來越高。此外,在WLP或PLP等的封裝制程中,樹脂封裝時(shí)的形狀呈現(xiàn)圓形或四方形等多樣化的形狀,包含現(xiàn)有的長條狀基板?Strip在內(nèi),皆需要研磨機(jī)臺能彈性對應(yīng)。為了對應(yīng)這些需求,DISCO開發(fā)了能對應(yīng)最大390×390mm尺寸的封裝研磨機(jī)DFG8020,Strip的高生產(chǎn)量加工研磨機(jī)DFG8030。

DFG8020/DFG8030主要特點(diǎn)包括:
- 從工作物的進(jìn)片到加工、洗凈、芯片盒的收納為止都用全自動進(jìn)行;
- 透過加工點(diǎn)的優(yōu)化以達(dá)到高平坦度研磨,想定使用大直徑Φ500mm研磨輪的設(shè)計(jì),進(jìn)而確保加工軸的剛性、穩(wěn)定性;
- 抑制工作物表面的平坦度不規(guī)則性;
- 可切換研磨方式,經(jīng)由Chuck table及研磨輪兩者旋轉(zhuǎn)的In-feed研磨;
- 經(jīng)由將工作物送往旋轉(zhuǎn)中研磨輪的Creep-feed研磨。

其中,DFG8020是對應(yīng)Panel size的全自動研磨機(jī),對應(yīng)最大390×390mm工作物,Φ300mm用鐵圈(Tape Frame),外形大小660×4,400×800mm,重量約5,700kg。

DFG8030具備strip用搬送構(gòu)造的全自動研磨機(jī),對應(yīng)寬45~100mm,長100-300mm的strip及小半徑晶圓片,對應(yīng)復(fù)數(shù)工作物的同時(shí)研磨以達(dá)高產(chǎn)能加工,經(jīng)加工中的非接觸厚度測量以隨時(shí)控制適切的研磨量,加工部1,660×2,300×1,800mm,搬送部2,500×1,500×1,800mm,重量約5,950kg(加工部)。


供貨與報(bào)價(jià)


DFG8020/DFG8030封裝研磨機(jī)可接受試切要求,已開始預(yù)定販賣。查詢進(jìn)一步信息,請?jiān)L問官方網(wǎng)站http://www.disco.co.jp/cn_t/news。(Lisa WU, 365PR Newswire)    (完)
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