【產(chǎn)通社，12月14日訊】迪恩士半導(dǎo)體科技股份有限公司（SCREEN Holdings；TOKYO證券交易所股票代碼：7735）官網(wǎng)消息，其旗下子公司SCREEN Semiconductor Solutions已完成其業(yè)界首款1新型SB-3300晶圓背面清洗系統(tǒng)的開發(fā)。SB-3300具備化學(xué)蝕刻/清洗功能以及使用刷子的物理清洗功能。


產(chǎn)品特點


隨著用于先進(jìn)邏輯和存儲 IC的電路的小型化和集成度的提高，由于背面顆粒的粘附和晶圓在其制造過程中的翹曲而導(dǎo)致良率出現(xiàn)關(guān)聯(lián)性下降。這一問題使背面清洗比以往任何時候都更顯重要，并使得對于提高生產(chǎn)率的呼吁日益高漲。為應(yīng)對這些趨勢，SCREEN SPE開發(fā)了其業(yè)界首款SB-3300單晶圓清洗系統(tǒng)。

SB-3300專為晶圓的背面清洗而設(shè)計，同時具有化學(xué)清洗功能和使用洗滌塔技術(shù)2的刷清功能。該系統(tǒng)可同時執(zhí)行化學(xué)清洗和刷清過程，以確保高效去除晶圓背面的顆粒。這些顆粒是尖端半導(dǎo)體器件的光刻過程中散焦的重要原因。 

SB-3300配有SCREEN SPE專有的卡盤系統(tǒng)，可安全地保護(hù)晶圓的器件表面，防止晶圓邊緣的蝕刻殘留物和化學(xué)物裹包在器件表面上。它還使用噴嘴序列的致密化處理和化學(xué)分配控制功能來提供高度受控的蝕刻。這樣可在整個晶圓表面上產(chǎn)生卓越的精度和均勻性，從而有助于抑制翹曲。 

此外，SB-3300還利用了一種平臺，該平臺沿襲了SCREEN SPE旗艦級單晶圓清洗模型SU-3300的四層堆疊塔所實現(xiàn)的高度節(jié)約空間的相同設(shè)計。該平臺配有16個腔室，使SB-3300能夠達(dá)到業(yè)界最高水平的每小時高達(dá)700片晶圓的背面清洗實際處理能力，包括晶圓翻轉(zhuǎn)。得益于其豐富的功能，該系統(tǒng)可解決與先進(jìn)半導(dǎo)體器件的晶圓背面清洗工藝有關(guān)的一系列問題，同時還能為提高生產(chǎn)率做出重大貢獻(xiàn)。 


供貨與報價


該系統(tǒng)將于12月開始銷售。查詢進(jìn)一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.screen.co.jp。（Lisa WU, 365PR Newswire）    （完）