【產(chǎn)通社，3月29日訊】沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司（KINGSEMI Co., Ltd.；股票代碼：688037）2020年年度報(bào)告顯示，其生產(chǎn)的集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域用單片式清洗機(jī)Spin Scrubber設(shè)備已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，在國(guó)內(nèi)多個(gè)重要客戶(hù)處獲得批量重復(fù)訂單，成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。

在集成電路制造前道晶圓加工領(lǐng)域，其生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備通過(guò)在客戶(hù)端的驗(yàn)證與改進(jìn)，在多個(gè)關(guān)鍵技術(shù)方面取得突破，技術(shù)成果已應(yīng)用到新產(chǎn)品中。報(bào)告期內(nèi)，該類(lèi)設(shè)備陸續(xù)獲得了上海華力、中芯紹興、廈門(mén)士蘭集科、上海積塔、株洲中車(chē)、青島芯恩、中芯寧波、昆明京東方等多個(gè)前道大客戶(hù)訂單及應(yīng)用。針對(duì)前道涂膠顯影設(shè)備產(chǎn)品的更高技術(shù)要求和更大市場(chǎng)需要，公司持續(xù)對(duì)其中的關(guān)鍵核心技術(shù)及核心零部件進(jìn)行研發(fā)。更高制程前道涂膠顯影設(shè)備的整機(jī)研制也已經(jīng)在實(shí)施過(guò)程中。

公司生產(chǎn)的前道Spin Scrubber清洗機(jī)設(shè)備已在中芯國(guó)際、上海華力、廈門(mén)士蘭集科等多個(gè)客戶(hù)處通過(guò)工藝驗(yàn)證，并已獲得國(guó)內(nèi)多家Fab廠(chǎng)商的批量重復(fù)訂單。報(bào)告期內(nèi)，通過(guò)持續(xù)優(yōu)化設(shè)備細(xì)節(jié)，采用新型傳輸架構(gòu)，設(shè)備產(chǎn)能得到進(jìn)一步提高；在晶圓正反面清洗技術(shù)方面，可滿(mǎn)足28nm制程的技術(shù)要求并在客戶(hù)端穩(wěn)定運(yùn)行；內(nèi)部微環(huán)境精確控制技術(shù)已經(jīng)與國(guó)際一流企業(yè)持平。公司生產(chǎn)的集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域用清洗機(jī)Spin Scrubber設(shè)備已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。

在集成電路制造先進(jìn)封裝領(lǐng)域，為應(yīng)對(duì)高端封裝市場(chǎng)工藝要求不斷提高，公司在后道設(shè)備上也采用了前道設(shè)備的先進(jìn)設(shè)計(jì)理念及技術(shù)，開(kāi)發(fā)疊層多腔設(shè)備，滿(mǎn)足更高工藝等級(jí)及產(chǎn)能需求。

在化合物、MEMS、LED芯片制造等領(lǐng)域，公司通過(guò)借鑒前道產(chǎn)品的設(shè)計(jì)理念，優(yōu)化小尺寸設(shè)備性能的同時(shí)，專(zhuān)項(xiàng)開(kāi)發(fā)疊層設(shè)備，提升化合物應(yīng)用領(lǐng)域的設(shè)備處理能力。

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