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深圳清溢光電2020年申請掩膜版(光罩)發(fā)明專利6件
2021/4/13 12:02:24     

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【產(chǎn)通社,4月13日訊】深圳清溢光電股份有限公司(Shenzhen Qingyi Photomask Limited;股票代碼:688138)2020年年度報(bào)告顯示,其主要產(chǎn)品為掩膜版(Photomask),又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等,是下游行業(yè)產(chǎn)品制造過程中的圖形“底片”轉(zhuǎn)移用的高精密工具,是承載圖形設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息的載體。掩膜版用于下游電子元器件制造業(yè)批量生產(chǎn),是下游行業(yè)生產(chǎn)流程的關(guān)鍵模具,是下游產(chǎn)品精度和質(zhì)量的決定因素之一。

報(bào)告期內(nèi),公司主要研發(fā)成果有7項(xiàng):
1)5代多柵(Multi-slit)產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目研發(fā)成功,項(xiàng)目完成5代多柵(Multi-slit)產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)研發(fā);
2)復(fù)雜圖檔的處理方法研發(fā)項(xiàng)目研發(fā)成功,達(dá)到設(shè)計(jì)文件的優(yōu)化,縮小了圖檔的數(shù)據(jù)量,提升了Mask復(fù)雜圖檔的CAM處理效率;
3)CD條狀漸變補(bǔ)償MASK制作項(xiàng)目研發(fā)成功,實(shí)現(xiàn)對8.5代以下平板顯示圖形,STEP 可低至0.5mm以下的CD漸變處理,用于補(bǔ)償Lens MURA, 提升平板顯示用掩膜版產(chǎn)品的品質(zhì)及良率;
4)8.5代HTM工藝項(xiàng)目研發(fā)成功,掌握HTM掩膜版技術(shù)并通過客戶認(rèn)證;
5)高精度IC掩膜版修補(bǔ)機(jī)安裝運(yùn)作項(xiàng)目研發(fā)成功,掌握了高精度IC掩膜版的修補(bǔ)技術(shù);
6)520*800 5代a-Si用 COM-ITO Mask 產(chǎn)品開發(fā)項(xiàng)目研發(fā)成功,掌握了520*800 5代a-Si用 COM-ITO Mask 工藝技術(shù);
7)半導(dǎo)體芯片、系統(tǒng)級封裝、MicroLED芯片用掩膜版技術(shù)的研發(fā)升級,提升了公司半導(dǎo)體芯片及系統(tǒng)級封裝、MicroLED芯片用掩膜版產(chǎn)品的技術(shù)能力。

2020年,公司通過國家高新技術(shù)企業(yè)復(fù)審。申請國家發(fā)明專利6件,實(shí)用新型2件,軟件著作權(quán)2件;新獲授權(quán)發(fā)明專利2件,實(shí)用新型2件,軟件著作權(quán)2件。

查詢進(jìn)一步信息,請?jiān)L問官方網(wǎng)站http://www.supermask.com。(Robin Zhang,張底剪報(bào))    (完)
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