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江豐電子材料2020年300mm晶圓用靶材部分用于5nm半導(dǎo)體芯片
2021/4/16 8:25:05     

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【產(chǎn)通社,4月16日訊】寧波江豐電子材料股份有限公司(Konfoong Materials International Co., Ltd.;股票代碼:300666)2020年年度報告顯示,其報告期內(nèi)實現(xiàn)營業(yè)收入11.67億元,較上年同期增加41.41%,歸屬于上市公司股東的凈利潤14,716.86萬元,同比增長129.28%。2020年度,公司生產(chǎn)的300mm晶圓用Al、Ti、Ta、Cu等靶材產(chǎn)品已批量應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片90-7nm技術(shù)節(jié)點,應(yīng)用于5nm技術(shù)節(jié)點的部分產(chǎn)品評價通過并量產(chǎn),部分產(chǎn)品進(jìn)入驗證階段。

公司建有針對物理氣相沉積(PVD)材料的分析實驗室,配備各類先進(jìn)檢測設(shè)備和儀器,如分析材料晶粒的形貌和大小的結(jié)晶組織分析系統(tǒng),分析焊接結(jié)合率以及材料缺陷、冷卻水管道的超聲波焊接掃描系統(tǒng)C-SCAN,用于尺寸檢測、濺射后靶材殘余量分析的三維坐標(biāo)測量儀CMM,對元素進(jìn)行快速定性分析及合金含量分析的X射線熒光分析儀XRF,快速測定材料結(jié)構(gòu)X射線衍射分析儀XRD,分析材料形貌、成份的掃描電子顯微鏡SEM,能夠高靈敏度進(jìn)行元素微區(qū)分析的電子探針分析儀EPMA,對材料成份定性定量分析原子發(fā)射光譜儀AES,分析雜質(zhì)元素和純度的輝光放電質(zhì)譜儀GDMS,對納米區(qū)域的物理性質(zhì)包括對形貌進(jìn)行探測的原子力顯微鏡AFM,顯微結(jié)構(gòu)及織構(gòu)的電子背散射衍射分析儀EBSD。

這些設(shè)備為公司實施嚴(yán)格的質(zhì)量檢測程序提供了有力的技術(shù)保障,最大限度地保證了產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)含量,有利于提升客戶滿意度和市場競爭力,同時,先進(jìn)的研發(fā)設(shè)備也為公司產(chǎn)品的后續(xù)開發(fā)建立了寬范圍的拓展平臺,為客戶新材料、新工藝的探索提供了技術(shù)支撐。

查詢進(jìn)一步信息,請訪問官方網(wǎng)站http://www.kfmic.com。(Donna Zhang,張底剪報)    (完)
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