【產(chǎn)通社，4月25日訊】合肥芯碁微電子裝備股份有限公司（Circuit Fabology Microelectronics Equipment Co.,Ltd；股票代碼：688630）2020年年度報告顯示，其報告期內(nèi)在微納直寫光刻核心技術領域具有豐富的技術積累，在系統(tǒng)集成技術、光刻紫外光學及光源技術、高精度高速實時自動對焦技術、高精度高速對準多層套刻技術、高精度多軸高速大行程精密驅(qū)動控制技術、高可靠高穩(wěn)定性及ECC技術、高速實時高精度圖形處理技術和智能生產(chǎn)平臺制造技術等前沿科技領域不斷投入研發(fā)力量，持續(xù)構(gòu)筑和強化產(chǎn)品技術壁壘。

截至2020年12月末，公司已獲得79項國家專利授權，其中發(fā)明專利25項，實用新型專利51項，外觀設計專利3項。

通過持續(xù)的自主研發(fā)，公司已掌握直寫光刻設備關鍵系統(tǒng)模塊的自主研發(fā)能力，形成了系統(tǒng)集成技術、光刻紫外光學及光源技術、高精度高速實時自動對焦技術、高精度高速對準多層套刻技術、高精度多軸高速大行程精密驅(qū)動控制技術、高可靠高穩(wěn)定性及ECC技術、高速實時高精度圖形處理技術等一系列直寫光刻關鍵技術。

查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.cfmee.cn。（Robin Zhang，張底剪報）    （完）