【產(chǎn)通社，6月26日訊】中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.；股票代碼：688012）官網(wǎng)消息，其首臺(tái)8英寸甚高頻去耦合反應(yīng)離子（CCP）刻蝕設(shè)備Primo AD-RIE 200于2021年6月15日順利付運(yùn)客戶生產(chǎn)線。

中微公司副總裁兼CCP等離子體刻蝕產(chǎn)品部總經(jīng)理蘇興才博士說(shuō)道，“Primo AD-RIE 200是中微公司推出的用于8英寸晶圓加工的CCP刻蝕設(shè)備，豐富了中微公司現(xiàn)有的刻蝕設(shè)備產(chǎn)品線，是中微公司發(fā)展歷程中又一重要里程碑。中微公司不但聚焦于高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，同時(shí)也提供其他多種設(shè)備以滿足集成電路和泛半導(dǎo)體領(lǐng)域多樣化的市場(chǎng)需求。我們希望堅(jiān)持致力于產(chǎn)品創(chuàng)新和技術(shù)提升，不斷滿足客戶的多樣化需求，助力客戶應(yīng)對(duì)行業(yè)挑戰(zhàn)�！�


產(chǎn)品特點(diǎn)


Primo AD-RIE 200是中微公司自主研發(fā)的新一代8英寸甚高頻去耦合反應(yīng)離子（CCP）刻蝕設(shè)備。基于已被業(yè)界廣泛認(rèn)可的12英寸CCP刻蝕設(shè)備的成熟工藝與特性，Primo AD-RIE 200在技術(shù)創(chuàng)新和生產(chǎn)效率方面都有了進(jìn)一步提升，能夠滿足不同客戶8英寸晶圓的加工需求。為了提高生產(chǎn)效率，Primo AD-RIE 200刻蝕設(shè)備可靈活配置多達(dá)三個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)腔（即六個(gè)反應(yīng)臺(tái)）。

此外，Primo AD-RIE 200?提供了可升級(jí)至12英寸刻蝕設(shè)備系統(tǒng)的靈活解決方案，以滿足客戶生產(chǎn)線未來(lái)可能擴(kuò)產(chǎn)的需求。
 

供貨與報(bào)價(jià)


查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站http://www.amec-inc.com。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）    （完）