【產(chǎn)通社，12月11日訊】Gigaphoton株式會社官網(wǎng)消息，其開始批量生產(chǎn)新型KrF光刻機用光源“G60K”。

Gigaphoton董事長兼總經(jīng)理浦中克己表示：“Gigaphoton會持續(xù)對成熟工藝節(jié)點的研發(fā)進行投資，提供充分運用最先進技術(shù)的產(chǎn)品，為提高客戶的生產(chǎn)效率以及可持續(xù)性做出貢獻�！�


產(chǎn)品特點


在全球半導(dǎo)體供應(yīng)短缺依然持續(xù)的背景下，由于對RF通信處理和車載半導(dǎo)體等的40 nm以下成熟節(jié)點的半導(dǎo)體需求不斷增加，以及采用3D NAND生產(chǎn)技術(shù)后層數(shù)的增加使容量得以擴大，預(yù)計到2023年對KrF光刻的需求將增加240%（與2019年相比）。

自2020年11月推出以來，Gigaphoton新型KrF光刻光源G60K受到用戶的好評，為了滿足消費者較高的需求，從今年11月開始批量生產(chǎn)。G60K的一個主要特點是可以應(yīng)對行業(yè)對生產(chǎn)效率提升以及可持續(xù)性的需求。通過60W高功率輸出提高曝光設(shè)備的處理能力，模塊耐用性提升減少了維護時間，從而實現(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。改進后的新型電源可節(jié)省超過5%的耗電量，在實現(xiàn)可持續(xù)性的同時，還可以降低用戶的成本。另外，G60K的平臺可以將輸出功率擴展到90W，可以滿足未來市場對生產(chǎn)效率進一步提升的需求。


供貨與報價


查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.GIGAPHOTON.com。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）    （完）