【產(chǎn)通社，4月26日訊】北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（NAURA Technology Group Co., Ltd.；股票代碼：002371）官網(wǎng)消息，PVD（物理氣相沉積）技術(shù)在芯片制造領(lǐng)域扮演著關(guān)鍵角色，特別是在金屬薄膜的制備方面。這些金屬薄膜作為芯片中互連線的重要組成部分，對整個芯片的性能具有至關(guān)重要的影響，每年全球市場容量達到50-60億美元。

北方華創(chuàng)作為中國PVD工藝裝備技術(shù)的開拓者，早在2008年就開始了PVD裝備的研發(fā)工作，經(jīng)過十六年的技術(shù)沉淀與創(chuàng)新突破，已發(fā)布多款量產(chǎn)型PVD設(shè)備，累計出貨超千腔，成為國內(nèi)PVD設(shè)備最大的解決方案提供商。

北方華創(chuàng)PVD事業(yè)部自成立以來先后突破了磁控濺射源設(shè)計、等離子體產(chǎn)生及控制、腔室設(shè)計與仿真模擬、顆�？刂�、軟件控制等多項關(guān)鍵技術(shù)，建立起了核心技術(shù)優(yōu)勢，實現(xiàn)了設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化及對邏輯芯片和存儲芯片金屬化制程的工藝覆蓋。截至2023年底，集成電路領(lǐng)域Cu（銅）互連、Al Pad（鋁墊層）、Metal Hardmask（金屬硬掩膜）、Metal Gate（金屬柵）、Silicide（硅化物）等工藝設(shè)備在客戶端的穩(wěn)定量產(chǎn)，成為多家客戶的基線設(shè)備，并均已成為行業(yè)優(yōu)選。其中，Metal Gate（金屬柵）PVD產(chǎn)品成功實現(xiàn)了28nm金屬柵核心工藝的量產(chǎn)突破；Cu（銅）互連PVD產(chǎn)品支持了Inter Metal（內(nèi)部互連線）和Top Metal（頂部互連線）工藝的批量生產(chǎn)；Al（鋁） PVD產(chǎn)品大批量應(yīng)用在邏輯、DRAM（動態(tài)隨機存儲器）、3D NAND（閃存）等不同領(lǐng)域，覆蓋Pad（鋁墊層）、RDL（再布線層）等所有工藝應(yīng)用。

北方華創(chuàng)PVD設(shè)備和工藝解決方案的成功應(yīng)用，不僅為整個行業(yè)提供了穩(wěn)定、高效的生產(chǎn)保障，更為華創(chuàng)樹立了良好的市場聲譽，贏得客戶信賴和產(chǎn)業(yè)界的高度贊譽，并榮獲多項北京市科技進步獎。查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.naura.com。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布） 
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