【產(chǎn)通社，12月5日訊】廣州奧松電子有限公司（Guangzhou Aosong Electronics Co.,Ltd.）官網(wǎng)消息，廣東省半導(dǎo)體裝備及零部件學(xué)會2025年學(xué)術(shù)會議暨半導(dǎo)體裝備及零部件產(chǎn)業(yè)鏈合作發(fā)展論壇11月14日在佛山舉辦。學(xué)會理事單位、國內(nèi)MEMS智能傳感器與半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域的國家級專精特新“小巨人”企業(yè)廣州奧松電子股份有限公司，憑借《基于MEMS的高精度氣體質(zhì)量流量控制器關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化》項目榮獲2025年度廣東省半導(dǎo)體裝備及零部件學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎一等獎。同時，由奧松研發(fā)團隊撰寫的學(xué)術(shù)論文《高可靠性電容薄膜真空計膜片材料的耐腐蝕性能研究》榮獲會議優(yōu)秀論文。兩項榮譽展現(xiàn)奧松在半導(dǎo)體核心零部件與前沿材料研究領(lǐng)域的科研成果達到了新高度。

本次會議由廣東省半導(dǎo)體裝備及零部件學(xué)會與季華實驗室聯(lián)合主辦，以“協(xié)同創(chuàng)新，驅(qū)動產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展”為主題，匯聚了來自國內(nèi)半導(dǎo)體裝備與零部件領(lǐng)域的權(quán)威專家、學(xué)者及產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)代表。會議設(shè)有主論壇及三大專題分會場，圍繞先進裝備、制程工藝、新一代材料等方向展開深度交流。

季華實驗室理事長、主任曹健林在題為《發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，為高質(zhì)量發(fā)展作出新貢獻》的報告中指出，要造出能用、好用且有競爭力的超精密裝備，需要“用裝備的隊伍”“造裝備的隊伍”“關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)隊伍”三支隊伍的密切配合。高端裝備是當(dāng)前中國制造業(yè)面臨的關(guān)鍵挑戰(zhàn)，制造業(yè)升級需依靠生產(chǎn)企業(yè)、專家與專業(yè)研究所三者長期穩(wěn)定協(xié)同。

中國集成電路零部件創(chuàng)新聯(lián)盟理事長雷震霖在題為《我國集成電路裝備及零部件產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀分析與建議》的報告中，系統(tǒng)分析了全球集成電路產(chǎn)業(yè)格局、AI+時代下面臨的機遇與挑戰(zhàn)，以及國內(nèi)裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展瓶頸，并提出系列發(fā)展建議。

由廣州奧松電子股份有限公司牽頭，聯(lián)合中微半導(dǎo)體設(shè)備（廣州）有限公司、廣東工業(yè)大學(xué)共同完成的“基于MEMS的高精度氣體質(zhì)量流量控制器關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化”項目，聚焦半導(dǎo)體制造、精密化工等領(lǐng)域?qū)怏w流量控制的極高精度與穩(wěn)定性需求，突破了MEMS傳感芯片設(shè)計等關(guān)鍵技術(shù)，成功實現(xiàn)了高性能氣體質(zhì)量流量控制器的自主研發(fā)與批量生產(chǎn)，有效解決了我國在半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件領(lǐng)域長期依賴進口的“卡脖子”問題，為產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控提供了重要支撐。查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.aosong.com。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）    （完）