【產(chǎn)通社，12月19日訊】廣州奧松電子有限公司（Guangzhou Aosong Electronics Co.,Ltd.）官網(wǎng)消息，廣東省半導體裝備及零部件學會2025年學術(shù)會議暨半導體裝備及零部件產(chǎn)業(yè)鏈合作發(fā)展論壇11月14日在佛山舉辦，其研發(fā)團隊撰寫的學術(shù)論文《高可靠性電容薄膜真空計膜片材料的耐腐蝕性能研究》榮獲會議優(yōu)秀論文。

論文系統(tǒng)研究了通過離子注入技術(shù)對鎳基合金進行鈮元素表面改性的工藝路徑，顯著提升了膜片材料在含鹵素腐蝕環(huán)境中的耐久性與可靠性。該研究為解決半導體制造過程中真空計量元件在苛刻工況下的壽命與穩(wěn)定性問題，提供了新材料路徑與實驗依據(jù)。查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.aosong.com。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）    （完）