
【產(chǎn)通社,1月25日訊】阿爾卑斯電氣(Alps)網(wǎng)站消息,其已經(jīng)開發(fā)了目前世界上最小的HSPPA系列壓敏電阻式防水型MEMS壓力傳感器(絕對壓檢測用)。HSPPA系列采用薄膜處理技術、細微加工技術以及封裝技術,實現(xiàn)了世界上最。3.95×1.85mm)的小型、低矮化壓敏電阻式防水型壓力傳感器。主要應用:在野外或潛水手表中用于測量氣壓和水壓,用數(shù)碼相機和數(shù)碼攝像機進行水中攝影時被用于色彩校正和檢測水深。
產(chǎn)品特點
HSPPA系列壓敏電阻式采用了將電阻變化作為電壓信號來讀取并從中算出壓力的方式,薄膜因來自外部的壓力而彎曲使形成于薄膜上的壓敏電阻元件變形,從而產(chǎn)生用上述電阻變化。這種方式直接將薄膜的彎曲度作為壓敏電阻元件的電阻變化來提取,因此可形成簡單的元件結(jié)構,適合于小型化。
為了實現(xiàn)防水性能,對結(jié)構和使用材料進行了優(yōu)化,從而確保了高耐水性并實現(xiàn)了高靈敏度的壓力檢測功能。為了產(chǎn)品的穩(wěn)定特性,通過優(yōu)化蝕刻條件形成了穩(wěn)定的空腔,實施了. 抑制外應力影響的Si-Si密封接合。HSPPA系列主要特點包括:
. 通過使用壓敏電阻元件,實現(xiàn)了薄小型化。
. 通過優(yōu)化封裝,減少了性能不穩(wěn)定。
. 通過密封加工,在水深50m處也可使用。
除了防水型以外,一同推出的還有一般的MEMS壓力傳感器(單個元件型、搭載放大器型)。
供貨與報價
HSPPA系列目前已經(jīng)量產(chǎn)。查詢進一步信息,請訪問http://www.alps.com/c/news_release/index.html。
(完)