【產(chǎn)通社，3月12日訊】Versum Materials, Inc.（NYSE股票代碼：VSM）消息，其將在全球規(guī)模最大的半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)SEMICON China上展出公司新一代CMP研磨劑、超薄介電和金屬薄膜前驅(qū)體、配制清洗和刻蝕產(chǎn)品以及輸送設(shè)備。該展會(huì)將于2017年3月14-16日在中國(guó)上海新國(guó)際博覽中心舉行，公司展位位于W5展廳5123#。

Air Products Electronic Materials是一家有著近40年輝煌歷史的一流半導(dǎo)體材料供應(yīng)商，最近從該公司完成拆分的Versum Materials將首次亮相該展會(huì)。該公司誠(chéng)邀訪(fǎng)客與公司的材料專(zhuān)家會(huì)面，探討用于新一代半導(dǎo)體制造業(yè)的最佳材料和設(shè)備。為表面處理和清洗領(lǐng)域帶來(lái)積極影響的產(chǎn)品將備受關(guān)注，例如，用于半導(dǎo)體后道工藝（BEOL）的先進(jìn)IC清洗系列ACT HX200-300，其用于在銅互連或鈷/鎢觸點(diǎn)上去除28nm及以上節(jié)點(diǎn)上的金屬硬掩模（MHM）。

Versum Materials, Inc.首席執(zhí)行官Guillermo Novo表示：“技術(shù)是我們的戰(zhàn)略基石。從分子設(shè)計(jì)、合成與配方設(shè)計(jì)、應(yīng)用支持、微縮和制造、封裝、運(yùn)輸和輸送到現(xiàn)場(chǎng)支持，我們自始至終幫助客戶(hù)提高工藝流程和效率。公司的國(guó)際團(tuán)隊(duì)擁有深厚的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和技術(shù)專(zhuān)長(zhǎng)，是業(yè)界最為卓越的團(tuán)隊(duì)。SEMICON China是了解我們的滿(mǎn)腔熱情以及我們?nèi)绾螢榘雽?dǎo)體行業(yè)提供創(chuàng)新的理想機(jī)會(huì)�！�

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