在電容式加速度傳感器里，通常都包含了一個半導(dǎo)體材料（多晶硅）形成的機械結(jié)構(gòu)。其制作工程采用類似于mask和etch工藝，在完全密封的環(huán)境里將器件進行氣密焊接，以形成真空或者稀有氣體的器件。這個器件的內(nèi)部稱為g-cell。在g-cell里，形象一點說，就好比一系列的橫梁（beam），在橫梁之間有一個可移動的模塊(mass)。在加速度的影響下，移動模塊可以從靜止?fàn)顟B(tài)產(chǎn)生位移。當(dāng)移動模塊與一邊的橫梁距離縮短，同時會與另外一邊的橫梁的距離增大。加速度測量的原理就是根據(jù)這個位移而得到的。

g-cell位移和加速度之間的關(guān)系為：當(dāng)中間的移動模塊在加速度的作用下產(chǎn)生位移的時候，它與固定橫梁的距離產(chǎn)生變化，每個電容數(shù)值也會隨之變化。具體的：

C = NAε/D

其中，A是橫梁的作用面積，是介電常數(shù)，D是橫梁之間的距離，N是橫梁的數(shù)量。

在X-Y軸的器件里包含了彼此間對應(yīng)角度的兩種結(jié)構(gòu)。除此之外，器件的ASIC部分將兩個電容的差異信號進行轉(zhuǎn)換和濾波，輸出大信號的電壓供后面的電路進行運用。