HARMEMS即高深寬比微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)，英文High Aspect Ratio MEMS，由飛思卡爾半導(dǎo)體公司（Freescale Semiconductor）。

HARMEMS是一種經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù)，用于安全氣囊傳感應(yīng)用。加速計(jì)采用先進(jìn)的傳感器設(shè)計(jì)，增強(qiáng)了傳感器的偏移性能。HARMEMS技術(shù)具有過阻尼機(jī)械響應(yīng)和出色信噪比，以滿足客戶要求。由于ESC系統(tǒng)（Electronic Stability Control）安裝在車箱內(nèi)或車蓬下面，因此過阻尼HARMEMS技術(shù)能夠很好地預(yù)防高頻率、高振幅寄生振動(dòng)。

對(duì)ESC應(yīng)用而言，更高信噪比和飛思卡爾的基于DSP的信號(hào)鏈，提供了更廣的范圍和高靈敏度，且最低有效位（LSB）噪聲不到一個(gè)。

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