透明導(dǎo)電氧化物薄膜主要包括In、Zn、Sb和Cd的氧化物及其復(fù)合多元氧化物薄膜材料，具有禁帶寬、可見(jiàn)光譜區(qū)光透射率高和電阻率低等特性。透明導(dǎo)電薄膜以摻錫氧化銦（ITO）為代表，廣泛地應(yīng)用于平板顯示、太陽(yáng)能電池、特殊功能窗口涂層及其他光電器件領(lǐng)域。透明導(dǎo)電薄膜是簡(jiǎn)單液晶顯示器的三大主要材料之一，隨著LCD產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)ITO透明導(dǎo)電膜的需求也隨之急劇增大。

ITO薄膜的制備

ITO薄膜的制備方法多樣，研究較多的制備方法為磁控濺射法，另外還有真空蒸發(fā)法、化學(xué)氣相沉積法、噴涂法、溶膠－凝膠法等方法。其中，溶膠－凝膠法的優(yōu)點(diǎn)是生產(chǎn)設(shè)備簡(jiǎn)單、工藝過(guò)程溫度低，易實(shí)現(xiàn)制備多組元且摻雜均勻的材料。

采用溶膠-凝膠法制備ITO薄膜多以銦、錫的有機(jī)醇鹽為前驅(qū)物。以銦、錫的無(wú)機(jī)鹽為前驅(qū)物。采用溶膠-凝膠法制備的ITO薄膜，比以有機(jī)醇鹽為前驅(qū)物的溶膠-凝膠法制備成本低，該方法制備ITO薄膜具有生產(chǎn)設(shè)備簡(jiǎn)單、成本低的優(yōu)勢(shì)。

透明導(dǎo)電玻璃則是LCD的三大主要材料之一。液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形，就是利用導(dǎo)電玻璃上的透明導(dǎo)電電膜，經(jīng)蝕刻制成特定形狀的電極，上下導(dǎo)電玻璃制成液晶盒后，在這些電極上加適當(dāng)電壓信號(hào)，使具有偶極矩的液晶分子在電場(chǎng)作用下特定的方面排列，僅而顯示出與電極波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng)的圖形。

在氧化物導(dǎo)電膜中，以摻Sn的In2O3（ITO）膜的透過(guò)率最高和導(dǎo)電性能最好，而且容易在酸液中蝕刻出微細(xì)的圖形。其透過(guò)率已達(dá)90%以上，ITO中其透過(guò)率和阻值分別由In2O3與Sn2O3之比例來(lái)控制，通常SnO2：In2O3=1：9。

ITO關(guān)鍵指標(biāo)：電阻率和光透過(guò)率

ITO是一種N型氧化物半導(dǎo)體-氧化銦錫，ITO薄膜即銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜，通常有兩個(gè)主要性能指標(biāo)：電阻率和光透過(guò)率。

目前ITO膜層之電阻率一般在5*10^-4左右，最好可達(dá)5*10^-5，已接近金屬的電阻率，在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，常以方塊電阻來(lái)表征ITO的導(dǎo)電性能，其透過(guò)率則可達(dá)90%以上，ITO膜之透過(guò)率和阻值分別由In2O3與Sn2O3之比例控制，增加氧化錮比例則可提高ITO之透過(guò)率，通常Sn2O3：In2O3=1：9，因?yàn)檠趸a之厚度超過(guò)200Å時(shí)，通常透明度已不夠好，雖然導(dǎo)電性能很好。

目前在高檔STN液晶顯示屏中所用ITO玻璃，其R□可達(dá)10Ω/□左右，膜厚為100-200um，而一般低檔TN產(chǎn)品的ITO玻璃R□為100-300Ω/□，膜厚為20-30um。

LCD布線(xiàn)設(shè)計(jì)考慮

在進(jìn)行LCD走線(xiàn)設(shè)計(jì)時(shí)，由ITO阻計(jì)算方式，可知影響ITO阻值有如下因素：

（1）ITO玻璃之方塊電阻：要確保走線(xiàn)電阻小，應(yīng)酬讓ITO玻璃方塊電阻小，因?yàn)镽□=P/d，則必須選P小，d適當(dāng)大些的材料。

（2）L1/L2：L1/L2即走線(xiàn)在平行電流方向與垂直電流方向上的長(zhǎng)度比，在R□一定時(shí)，要保證走線(xiàn)電阻值小，就要讓L1/L2小，當(dāng)L1一定時(shí)，只有增大L2，也說(shuō)法是在設(shè)計(jì)時(shí)，走線(xiàn)應(yīng)盡可能加寬；而當(dāng)L2一定時(shí)，L1就要小，即走線(xiàn)寬度一定時(shí)，細(xì)線(xiàn)應(yīng)盡可能短。

（3）在LCD顯示屏設(shè)計(jì)當(dāng)中，不僅要考慮走線(xiàn)布對(duì)ITO阻值的影響，還要考慮生產(chǎn)工藝對(duì)ITO阻值的影響，以便選擇適當(dāng)方阻的ITO玻璃，以實(shí)現(xiàn)從設(shè)計(jì)到制作的全面控制，生產(chǎn)高對(duì)比的LCD產(chǎn)品，這時(shí)高占空比及COG產(chǎn)品至關(guān)重要。如，ITO膜厚的均勻性，因?yàn)镮TO的耙材及工藝不穩(wěn)定，會(huì)使同樣長(zhǎng)度與寬度的ITO阻值發(fā)生變化，如目標(biāo)值為10Ω時(shí)，其R范圍在8-12Ω之間，所以在生產(chǎn)中要使用ITO膜厚均勻的導(dǎo)電玻璃，以減少電阻的變化。
其次，還要考慮的工藝參數(shù)是ITO玻璃的耐高溫性、酸堿性，因?yàn)橥ǔCD生產(chǎn)工藝中要使用高溫烘烤及各種酸堿液的浸泡，而一般在300°C *30min的環(huán)境中，會(huì)使R□增大2-3倍。因此，在生產(chǎn)工藝中不宜采用高溫生產(chǎn)及酸堿的長(zhǎng)時(shí)清洗，若無(wú)法避免，則應(yīng)盡量在低溫下進(jìn)行并盡量縮短動(dòng)作時(shí)間。

（4）由于在液晶顯示器中，ITO方塊電阻等效于電路圖中的分壓電阻，其阻值大小直接影響電路兩端電壓的大小，即方塊電阻越大，LCD值電壓越大。數(shù)據(jù)表明，ITO之方塊電阻由100Ω/□降至60Ω/□。Cell Gap為6um左右，Vth值會(huì)降低0.03V左右。