【產(chǎn)通社，6月11日訊】弗勞恩霍夫光子微系統(tǒng)研究所（Fraunhofer IPMS）的科學(xué)家們開發(fā)了用于空間光調(diào)制器的高性能評估套件，該套件以傾斜或活塞鏡作為執(zhí)行器類型。開發(fā)的空間光調(diào)制器的微鏡元件在逐像素的基礎(chǔ)上操縱光，并在支持光刻、醫(yī)療技術(shù)、天文學(xué)和量子計(jì)算應(yīng)用的高精度光圖案的生成中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

科學(xué)家們的空間光調(diào)制器由單個(gè)半導(dǎo)體芯片上的數(shù)百萬個(gè)單獨(dú)的模擬可控反射鏡組成。這些高通用性組件形成用于各種應(yīng)用的光學(xué)關(guān)鍵元件。根據(jù)應(yīng)用，微鏡可以沿一個(gè)或兩個(gè)軸傾斜或水平降低。這使他們能夠控制和操縱光的方向、強(qiáng)度或相位，從而創(chuàng)建精確的光圖案。
 
為了促進(jìn)這種高度集成、快速和精確的技術(shù)轉(zhuǎn)移到新的應(yīng)用中，弗勞恩霍夫IPMS已經(jīng)開始提供帶有64000（256×256）個(gè)鏡子的評估套件。這些系統(tǒng)通�；趩屋S傾斜鏡，現(xiàn)已擴(kuò)展到包括活塞鏡作為一種新型執(zhí)行器。該研究所表示，成功將技術(shù)實(shí)施到評估套件的第一個(gè)版本中，使客戶能夠在單個(gè)中央平臺上測試大部分微鏡陣列組合。

弗勞恩霍夫IPMS的Michael Wagner說：“通常，不同的鏡像技術(shù)也需要相應(yīng)的測試系統(tǒng)，因?yàn)閱蝹�(gè)鏡像陣列基于單個(gè)CMOS背板�！薄！拔覀兊奶准试S用戶和開發(fā)人員在中央平臺上測試空間光調(diào)制器。”

根據(jù)鏡子類型和系統(tǒng)設(shè)置，評估套件可用于從紫外光譜到可見光譜再到近紅外光譜的范圍。研究人員目前正在努力將評估套件的應(yīng)用范圍擴(kuò)展到深紫外范圍，因?yàn)楦诙骰舴騃PMS的其他空間光調(diào)制器平臺已經(jīng)在這個(gè)范圍內(nèi)使用。在紫外范圍內(nèi)，可以分辨出較小的細(xì)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)詳細(xì)和高精度的成像。評估套件的先進(jìn)控制電子設(shè)備進(jìn)一步支持高達(dá)千赫茲范圍的極高調(diào)制頻率。

研究員Mario Nitzsche說：“通常，微鏡陣列的調(diào)制頻率受到控制設(shè)置的限制，而不是芯片本身的特性。強(qiáng)大的設(shè)置可以利用微鏡的全部功能�！�

評估套件通過微鏡的納米級精確校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)了高性能，確保了精確和高分辨率的模擬（準(zhǔn)連續(xù)）下降或傾斜運(yùn)動。完整的評估套件包括控制電子設(shè)備、64k微鏡芯片（256 x 256像素）和相應(yīng)的軟件。提供集成和優(yōu)化操作支持。

剪報(bào)來源：
https://www.photonics.com/Articles/Fraunhofer_IPMS_Debuts_Spatial_Light_Modulator/p5/a71092