【產(chǎn)通社，6月13日訊】牛津儀器（Oxford Instruments）官網(wǎng)消息，隨著對(duì)石墨烯和二維材料研究的不斷深入，全球多個(gè)研究機(jī)構(gòu)已陸續(xù)購(gòu)買多臺(tái)牛津儀器領(lǐng)先的納米生長(zhǎng)設(shè)備Nanofab來(lái)輔助研究，包括等離子體化學(xué)氣相沉積（CVD）、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）和感應(yīng)耦合等離子體-化學(xué)氣相沉積（ICP-CVD）等。歐洲及美國(guó)的幾所著名的研究機(jī)構(gòu)，比如美國(guó)海軍研究實(shí)驗(yàn)室、倫敦大學(xué)學(xué)院等最近都有購(gòu)買多臺(tái)牛津儀器等離子體設(shè)備。

倫敦大學(xué)學(xué)院的Zheng-Xiao Guo教授評(píng)價(jià)道：“我們最近購(gòu)買了一臺(tái)牛津儀器的Nanofab，之所以選擇它是因?yàn)樗鼉?yōu)異的處理能力、工藝控制能力以及設(shè)備修改和升級(jí)的靈活性等性能。我們更滿意的一點(diǎn)是，牛津儀器將持續(xù)為我們提供售后服務(wù)，不僅僅包括運(yùn)行系統(tǒng)，還會(huì)提供技術(shù)支持來(lái)幫助我們更好地實(shí)現(xiàn)應(yīng)用�！�

牛津儀器等離子體部門銷售與市場(chǎng)總監(jiān)David Haynes博士介紹說(shuō)：“由于未來(lái)幾年內(nèi)，石墨烯有望走進(jìn)百姓生活，因此石墨烯的研發(fā)在全球范圍內(nèi)越來(lái)越受重視。幾個(gè)國(guó)家級(jí)的研究項(xiàng)目及工業(yè)界多個(gè)企業(yè)都活躍在石墨烯的生產(chǎn)及應(yīng)用上，美國(guó)海軍研究實(shí)驗(yàn)室、倫敦大學(xué)學(xué)院能夠選擇牛津儀器的Nanofab系統(tǒng)，我們感到很榮幸�！�

應(yīng)用特點(diǎn)

等離子化學(xué)氣相沉積已成為納米材料制備的重要工藝技術(shù)，尤其是石墨烯、碳納米管及其他一維或二維納米材料。Nanofab作為此研究領(lǐng)域中的理想設(shè)備，具有多個(gè)特點(diǎn)有助于高性能材料生長(zhǎng)，比如：高溫加熱器可處理直徑高達(dá)200mm的晶圓，噴頭技術(shù)，晶圓傳送自動(dòng)鎖，以及靈活的固體與液體前驅(qū)體傳送選擇。

供貨與報(bào)價(jià)

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