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南大光電積極推進高純砷烷、磷烷等特種氣體的研發(fā)與中試項目
2016/8/31 20:31:56     

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【產(chǎn)通社,8月31日訊】江蘇南大光電材料股份有限公司(Nata Opto-electronic Material;股票代碼:300346)2016年半年度報告顯示,其報告期內(nèi)積極推進控股子公司全椒南大光電“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項《高純砷烷、磷烷等特種氣體的研發(fā)與中試》項目的產(chǎn)業(yè)化進程。目前全椒南大光電已按計劃形成了35噸高純磷烷、15噸高純砷烷的生產(chǎn)能力,各項技術(shù)指標達到了項目要求,建成的生產(chǎn)線和相應(yīng)的生產(chǎn)設(shè)施通過了安徽省的專家安全生產(chǎn)驗收和認證,并已于今年5月取得了安全生產(chǎn)許可證,6月開始啟動生產(chǎn)經(jīng)營,部分客戶認證工作已完成。

半導體前驅(qū)體材料已研發(fā)成功高純四(二甲氨基)鈦產(chǎn)品,并在推進產(chǎn)業(yè)化和市場應(yīng)用進程,我們繼續(xù)引進這方面的高端人才,正在進行5種左右的相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。

報告期內(nèi)研發(fā)投入1,243.66萬元,較去年同期增長22.32%。截止報告期末,公司及子公司共擁有專利21項,其中:發(fā)明專利9項,實用新型專利12項。

查詢進一步信息,請訪問官方網(wǎng)站http://www.natachem.com。    (完)
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