【產(chǎn)通社，4月28日訊】上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司（Sinyang Semiconductor Materials；股票代碼：300236）2020年年度報告顯示，其本報告期研發(fā)投入總額8,027.46萬元，占本期營業(yè)收入的比重為11.57%。其中，半導(dǎo)體業(yè)務(wù)研發(fā)投入占半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的比重為20.60%。

集成電路制造用高端光刻膠項目是本報告期公司研發(fā)投入的重點項目之一。公司作為課題單位開展了氮化硅蝕刻液，化學機械研磨后清洗液（PCMP）產(chǎn)品和工藝技術(shù)的開發(fā)。

在產(chǎn)品研發(fā)方面，主要集中于集成電路制造用光刻膠、大馬士革電鍍添加劑、干法蝕刻清洗液、氮化硅和氮化鈦蝕刻液、化學機械研磨后清洗液、氟碳粉末涂料等項目，其中大馬士革電鍍添加劑、氮化硅蝕刻液、化學機械研磨后清洗液、氟碳粉末涂料項目均取得了突破性的進展。公司原創(chuàng)開發(fā)的氮化硅蝕刻液已在客戶端實現(xiàn)量產(chǎn)，打破了國外對該產(chǎn)品的技術(shù)封鎖，同時也標志著公司晶圓制造關(guān)鍵工藝材料的研發(fā)能力實現(xiàn)從替代國際同行到引領(lǐng)國際水平的跨越。

本報告期，公司申請發(fā)明專利40件，實用新型專利7件。截至報告期末，公司已申請專利275項，其中發(fā)明專利139項（已經(jīng)授權(quán)79項），國際發(fā)明專利8項。

查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.sinyang.com.cn。（Donna Zhang，張底剪報）    （完）