【產(chǎn)通社，3月19日訊】沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（KINGSEMI Co., Ltd.；股票代碼：688037）2021年年度報(bào)告顯示，其報(bào)告期內(nèi)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入82,867.25萬元，較2020年同期增長151.95%；歸屬于上市公司股東的凈利潤7,734.95萬元，較2020年同期增長58.41%。報(bào)告期內(nèi)，公司堅(jiān)持以市場(chǎng)方向和客戶需求為導(dǎo)向，不斷對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行技術(shù)完善和革新，持續(xù)加大自主研發(fā)力度，實(shí)現(xiàn)對(duì)核心零部件和單元技術(shù)、整機(jī)產(chǎn)品研發(fā)等方面的實(shí)質(zhì)性進(jìn)展，全年研發(fā)支出9,249.96萬元，同比增長103.68%。

（1）前道涂膠顯影領(lǐng)域
報(bào)告期內(nèi)，公司生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備獲得了多個(gè)前道大客戶訂單及應(yīng)用，下游客戶覆蓋邏輯、存儲(chǔ)、功率器件及其他特種工藝等多家國內(nèi)廠商。公司在前道涂膠顯影領(lǐng)域，作為國產(chǎn)化設(shè)備已逐步得到了應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)了小批量替代。公司生產(chǎn)的offline涂膠顯影機(jī)已實(shí)現(xiàn)批量銷售，I-line涂膠顯影機(jī)已經(jīng)通過部分客戶驗(yàn)證并進(jìn)入量產(chǎn)銷售階段、KrF涂膠顯影機(jī)已經(jīng)通過客戶ATP驗(yàn)收。隨著各項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的突破及工藝驗(yàn)證的穩(wěn)步推進(jìn)，公司前道涂膠顯影機(jī)具備快速實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代的技術(shù)實(shí)力。

（2）前道物理清洗領(lǐng)域
公司生產(chǎn)的前道Spin Scrubber清洗機(jī)設(shè)備較為成熟，報(bào)告期內(nèi)通過持續(xù)研發(fā)進(jìn)一步提升了工藝性能和設(shè)備產(chǎn)能，產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力不斷增強(qiáng)，已經(jīng)達(dá)到國際先進(jìn)水平并成功實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。2020年已在國內(nèi)多個(gè)重點(diǎn)客戶處通過驗(yàn)證。2021年獲得中芯國際、上海華力、武漢新芯、廈門士蘭集科、揚(yáng)杰科技、青島芯恩、上海積塔等國內(nèi)多家Fab廠商的批量重復(fù)訂單。

（3）后道先進(jìn)封裝領(lǐng)域
公司生產(chǎn)的后道涂膠顯影設(shè)備和單片式濕法設(shè)備作為主流機(jī)型已批量應(yīng)用于臺(tái)積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、中芯紹興、中芯寧波等國內(nèi)一線大廠，目前已經(jīng)成為客戶端的主力量產(chǎn)設(shè)備。公司在后道領(lǐng)域持續(xù)開拓新客戶，報(bào)告期內(nèi)積極開拓了日月光、矽品科技、盛合晶微等封裝客戶。公司將在未來加大力度持續(xù)開拓中國臺(tái)灣以及海外市場(chǎng)。

（4）化合物、MEMS、LED等小尺寸領(lǐng)域
公司生產(chǎn)的小尺寸涂膠顯影設(shè)備與單片式濕法設(shè)備，可覆蓋化合物、MEMS、LED等多個(gè)領(lǐng)域，目前作為主流機(jī)型已批量應(yīng)用于三安光電、華燦光電、乾照光電、賽微電子、江西兆馳等國內(nèi)一線大廠，已經(jīng)成為客戶端的主力量產(chǎn)設(shè)備。公司作為國內(nèi)化合物龍頭三安光電的主力供應(yīng)商，在市場(chǎng)開拓中不斷延伸，報(bào)告期內(nèi)進(jìn)一步鞏固市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)地位。

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